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工業(yè)廢氣處理設(shè)備是利用臭氣中，某一些物質(zhì)易溶于水的熱性，使得臭氣成分直接與水接觸，從而溶解于水來達(dá)到脫臭的目的，用水吸收法處理工業(yè)廢氣，工藝簡單，管理方便，設(shè)備運轉(zhuǎn)費用低，產(chǎn)生二次污染，需要對洗滌液進(jìn)行處理，但是此方法凈化效率低，需要與其他技術(shù)聯(lián)合使用才能夠達(dá)到更好的處理效果。

而低溫等離子體是繼固態(tài)，氣態(tài)，業(yè)態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的著火電壓時，氣體分子能夠被擊穿，產(chǎn)生各種離子的混合體，放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體，工業(yè)廢氣處理設(shè)備的低溫等離子體降解污染物的方法，其實就是利用這些高能電子和廢氣中的污染物作用，是污染物分子在短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)，以達(dá)到降解污染物的目的。